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Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat
 

Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat

Article doi: 10.3791/61013
June 18th, 2020

Summary June 18th, 2020

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Click here for the English version.

Zwei Herstellungstechniken, Lift-off und Nassätzung, werden bei der Herstellung von interdigitalen Elektrodenwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat beschrieben, Lithiumniobat, das weit verbreitet ist, um Oberflächen-Akustikwellen zu erzeugen, die jetzt einen breiten Nutzen in der Mikro- bis nanoskaligen Fluidik finden. Die produzierten Elektroden werden gezeigt, um effizient Megahertz-Ordnung Rayleigh Oberflächen-Akustikwellen zu induzieren.

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