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Fabricação de dispositivos de onda acústica de superfície no niobato de lítio
 

Fabricação de dispositivos de onda acústica de superfície no niobato de lítio

Article doi: 10.3791/61013
June 18th, 2020

Summary June 18th, 2020

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Duas técnicas de fabricação, decolagem e gravura úmida, são descritas na produção de transdutores de eletrodos interdigiais em um substrato piezoelétrico, nióbio de lítio, amplamente utilizado para gerar ondas acústicas superficiais agora encontrando ampla utilidade em fluidos micro para nanoescala. Os eletrodos produzidos são mostrados para induzir eficientemente ondas acústicas de superfície de Rayleigh.

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