JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Vi presenterar en kompakt reflektion digitala holografiska systemet (CDHM) för inspektion och karakterisering av MEMS-enheter. En lins-mindre design med en divergerande ingång våg ger naturlig geometrisk förstoring visas. Både statiska och dynamiska studier presenteras.