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MEMS 검사 및 특성화를위한 소형 렌즈가없는 디지털 홀로그램 현미경
 
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MEMS 검사 및 특성화를위한 소형 렌즈가없는 디지털 홀로그램 현미경

Article DOI: 10.3791/53630-v 10:28 min July 5th, 2016
July 5th, 2016

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우리는 MEMS 장치의 검사 및 특성화를위한 소형 반사 디지털 홀로 그래픽 시스템 (CDHM)을 제시한다. 자연의 기하학적 배율을​​ 제공 발산 입력 파를 사용하는 렌즈없는 디자인이 설명된다. 모두 정적 및 동적 연구가되게됩니다.

Tags

공학 문제 (113) 디지털 홀로그래피 영상 시스템 양적 위상 측정 현미경 비파괴 시험 MEMS
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