/
/
Компактный объектив менее цифровой голографический микроскоп для MEMS осмотра и определения характеристик
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:05Title
- 01:05Preparations
- 03:52Data Acquisition
- 05:38Data Analysis for Static Measurements
- 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
- 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
- 09:17Conclusion
Мы представляем компактное отражение цифровой голографической системы (CDHM) для проверки и определения характеристик устройств МЭМС. Линза-менее дизайн с использованием расходящийся входной волны обеспечивая естественную геометрическую увеличение демонстрируется. Как статические, так и динамические исследования представлены.
Tags
Compact Digital Holographic MicroscopeMEMS InspectionMEMS CharacterizationFull-field Optical MeasurementNon-contactReal-timeHigh-resolution3D MappingLens-lessCompactWafer InspectionMicro-opticsDiffractive OpticsBioimagingSilicon WaferGold Electrodes3D View SoftwareDMx 41BU02 CameraY800 Video FormatReflection Or Transmission Mode633 Nm Wavelength4.65 μm Pixel Size
