/
/
Design och karakterisering metod för effektiv Wide Range avstämbara MEMS filter
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:00Title
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Results
- 14:07Conclusion
Ett protokoll för en fast-fast beam design använder en laser Doppler vibrometer (LDV), inklusive mätning av frekvens tuning, modifiering av tuning förmåga, och undvikande av enhetsfel och stiction, presenteras. Överlägsenheten av metoden LDV över nätanalysator demonstreras på grund av dess högre mode förmåga.
