Journal
/
/
Fabrikasjon av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
DOI:

07:55 min

June 18, 2020

, ,

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
  • 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
  • 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
  • 07:18Conclusion

Summary

Automatic Translation

To fabrikasjonsteknikker, lift-off og våt etsing, er beskrevet i å produsere interdigitale elektrodetransdusere på et piezoelektrisk substrat, litiumniobate, mye brukt til å generere overflateakustiske bølger som nå finner bredt verktøy i mikro til nanoskalavæske. De som produserte elektrodene er vist å effektivt indusere megahertz rekkefølge Rayleigh overflate akustiske bølger.

Related Videos

Read Article