Journal
/
Engineering
/
Fabrikasjon av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Fabrikasjon av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate

DOI:
10.3791/61013-v

•

07:55 min

•

June 18, 2020

•

, ,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
  • 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
  • 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
  • 07:18Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

To fabrikasjonsteknikker, lift-off og våt etsing, er beskrevet i å produsere interdigitale elektrodetransdusere på et piezoelektrisk substrat, litiumniobate, mye brukt til å generere overflateakustiske bølger som nå finner bredt verktøy i mikro til nanoskalavæske. De som produserte elektrodene er vist å effektivt indusere megahertz rekkefølge Rayleigh overflate akustiske bølger.

Tags

Surface Acoustic WaveLithium NiobateFabricationPhotoresistSpin CoatingUV ExposureRD6 DeveloperSputteringChromiumAluminum

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Fabrikasjon, drift og Flow Visualisering i overflate akustiske bølger-drevet Acoustic-motstrøm Microfluidics

Fabrikasjon av Gate-tunbare Graphene enheter for scanning tunneling mikroskopi Studier med Coulomb Urenheter

Fabrikasjon og drift av Acoustofluidic enheter som har støtte Bulk Acoustic stående bølger for Sheathless Fokusering av partikler

Fabrikasjon av Fully Løsning Behandlet uorganiske nanocrystal photovoltaic enheter

Solvent Bonding for fabrikasjon av PMMA og COP microfluidic enheter

Eksperimentell gjennomføringen av en ny sammensatt fabrikasjon metode: utsette nakne fiber på sammensatte overflaten av myke lag metoden

Fokusert Ion strålen fabrikasjon av LiPON-baserte SSD litium-ion Nanobatteries for In Situ Testing

Flyt-assistert Dielectrophoresis: En rimelig metode for fabrikasjon av høytytende løsningen-processable Nanowire enheter

Lufttrykk fabrikasjon av store enkeltlags-rektangulære SnSe Flakes

Fabrikasjon av fleksible Image Sensor basert på Lateral NIPIN Phototransistors

Read Article