Journal
/
Engineering
/
Tillverkning av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Tillverkning av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate

DOI:
10.3791/61013-v

•

07:55 min

•

June 18, 2020

•

, ,
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
  • 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
  • 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
  • 07:18Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Två tillverkningstekniker, lyft-off och våt etsning, beskrivs i att producera interdigital elektrod givare på en piezoelektrisk substrat, litium niobat, ofta används för att generera ytan akustiska vågor nu hitta bred nytta i mikro till nanoskala fluidik. De som produceras elektroder visas för att effektivt inducera megahertz beställa Rayleigh yta akustiska vågor.

Tags

Surface Acoustic WaveLithium NiobateFabricationPhotoresistSpin CoatingUV ExposureRD6 DeveloperSputteringChromiumAluminum

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Fabrication, Drift och Flow Visualization i yt-akustisk-våg-drivna Acoustic-motströms Mikrofluidik

Tillverkning av Gate-avstämbara grafen enheter för sveptunnelmikroskopi Studier med Coulomb Föroreningar

Tillverkning och användning av Acoustofluidic Devices Stöd Bulk Acoustic stående vågor för Sheathless Fokusering av partiklar

Tillverkning av helt Lösning bearbetade oorganiska nanokristall Solceller Devices

Lösningsmedelsbindning för framställning av PMMA och COP Mikrofluidikanordningar

Experimentell genomförandet av en ny komposit Fabrication metod: utsätta Bare fibrer på sammansatta ytan av metoden mjuka lager

Fokuserad Ion Beam tillverkning av LiPON-baserade SSD Lithium-ion Nanobatteries för In Situ testning

Flöde-assisted Dielectrophoresis: En låg kostnad metod för tillverkning av högpresterande lösning-bearbetningsbar nanotråd enheter

Atmosfäriskt tryck tillverkning av stora lager rektangulära SnSe flingor

Tillverkning av flexibla bildsensor baserat på laterala ANNALENA Phototransistors

Read Article