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JoVE Journal Engineering
Epitaxial Nanostructured α-Quartz-Folien auf Silizium
Calibration of Vector Network Analyzer for Measurements in Radio Frequency Propagation Channels
Journal (Engineering)
Calibration of Vector Network Analyzer for Measurements in Radio Frequency Propagation Channels
Fabricating van der Waals Heterostructures with Precise Rotational Alignment
Journal (Engineering)
Fabricating van der Waals Heterostructures with Precise Rotational Alignment
 
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Epitaxial Nanostructured α-Quartz-Folien auf Silizium: Vom Material zu neuen Geräten

Article DOI: 10.3791/61766-v • 11:34 min • October 6th, 2020
October 6th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS, Université de Montpellier

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Diese Arbeit präsentiert ein detailliertes Protokoll für die Mikrofertigung von nanostrukturierten α-Quarz-Ausleger auf einem Silizium-On-Insulator(SOI)-Technologiesubstrat ausgehend vom epitaxialen Wachstum von Quarzfolien mit dem Tauchbeschichtungsverfahren und dann der Nanostrukturierung des Dünnfilms mittels Nanoimprint-Lithographie.

Tags

Engineering Ausgabe 164 Nanoimprint Lithographie (NIL) nanostrukturierte α-Quarz SOI-Substrat piezoelektrisch Mikrofabrikation Lithographie Radierung Ausleger MEMS
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