Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
En metod för permanent bindning av två kiselplattor för att realisera ett enhetligt hölje beskrivs. Detta inkluderar wafer förberedelse, rengöring, RT-bindning och glödgningsprocesser. De resulterande bundna wafersna (celler) har enhetlighet i höljet ~ 1%1,2. Den resulterande geometrin möjliggör mätningar av begränsade vätskor och gaser.