تصنيع تجاويف نانوية موحدة عبر الترابط رقاقة السيليكون المباشر

9.5K مشاهدة

استشهد بها 2

10:32 دقيقة

يناير 9, 2014

10.3791/51179-v

يناير 9, 2014

9.5K مشاهدة

Stephen R. D. Thomson¹ , Justin K. Perron²^,³ , Mark O. Kimball⁴ , Sarabjit Mehta⁵ , Francis M. Gasparini¹

¹Department of Physics, The State University of New York at Buffalo, ²Joint Quantum Institute, University of Maryland, ³The National Institute of Standards and Technology, ⁴Cryogenics and Fluids Branch, NASA Goddard Space Flight Center, ⁵HRL Laboratories

ويرد وصف طريقة للترابط بشكل دائم اثنين من رقائق السيليكون وذلك لتحقيق الضميمة موحدة. وهذا يشمل إعداد رقاقة، والتنظيف، والترابط RT، وعمليات التلوين. الرقاقات المستعبدين الناتجة (الخلايا) لديها توحيد الضميمة ~ 1٪^1،2. تسمح الهندسة الناتجة عن ذلك بقياسات السوائل والغازات المحصورة.