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デザインと効率的な広帯域波長可変 MEMS フィルター特性評価手法
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JoVE Journal Engineering
Design and Characterization Methodology for Efficient Wide Range Tunable MEMS Filters
DOI:

15:25 min

February 04, 2018

Chapters

  • 00:00Title
  • 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
  • 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
  • 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
  • 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
  • 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
  • 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
  • 11:01Avoiding Device Failures
  • 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
  • 12:10Boosting The Tuning Capability
  • 13:16Results
  • 14:07Conclusion

Summary

Automatic Translation

レーザドップラ (LDV) は、チューニング、チューニング機能、および装置の故障や、ヘッドス ライダーの回避の修正周波数測定などを用いた固定固定ビーム設計プロトコルが表示されます。その高いモード機能によりネットワーク アナライザーに LDV 法の優位性を発揮します。

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