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Chemistry

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Reconstruction 3D du profil de profondeur des impuretés ségréguées à l’aide de la spectrométrie de masse d’ions secondaires
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Reconstruction 3D du profil de profondeur des impuretés ségréguées à l’aide de la spectrométrie de masse d’ions secondaires

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

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La méthode présentée décrit comment identifier et résoudre les artefacts de mesure liés à la spectrométrie de masse d’ions secondaires ainsi que d’obtenir des distributions 3D réalistes d’impuretés/dopants dans les matériaux à l’état solide.

Tags

Reconstruction de profil de profondeur 3D impuretés séparées spectrométrie de masse d’ions secondaires SIMS limites de détection résolution spatiale distributions 3D réalistes artefacts de mesure correction de champ plat contribution au bruit de fond du vide durée stable source d’ions primaires gravure chimique humide position de dislocation microscopie électronique à balayage (MEB) impuretés agglomérées position des défauts étape de préparation de l’échantillon
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