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Chemistry

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3D-Tiefenprofilrekonstruktion von segregierten Verunreinigungen mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
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3D-Tiefenprofilrekonstruktion von segregierten Verunreinigungen mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

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Die vorgestellte Methode beschreibt, wie Messartefakte im Zusammenhang mit der Sekundärionen-Massenspektrometrie identifiziert und gelöst werden können, sowie realistische 3D-Verteilungen von Verunreinigungen/Dotierstoffen in Festkörpermaterialien erhalten werden können.

Tags

3D-Tiefenprofilrekonstruktion segregierte Verunreinigungen Sekundärionen-Massenspektrometrie SIMS Nachweisgrenzen räumliche Auflösung realistische 3D-Verteilungen Messartefakte Flat-Field-Korrektur Vakuumhintergrundbeitrag stabile Zeitspanne primäre Ionenquelle nasschemisches Ätzen Versetzungsposition Rasterelektronenmikroskopie (REM) agglomerierte Verunreinigungen Defektposition Probenvorbereitungsphase
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