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JoVE Journal
Chemistry

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Reconstrução de perfil de profundidade 3D de impurezas segregadas usando espectrometria de massa de íons secundários
Preparation of Wet Grafted Silica with N’-(3-Trimethylsilyl Propyl) Diethyleneamine (DAS) (Video) | JoVE
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Reconstrução de perfil de profundidade 3D de impurezas segregadas usando espectrometria de massa de íons secundários

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

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O método apresentado descreve como identificar e resolver artefatos de medição relacionados à espectrometria de massa de íons secundários, bem como obter distribuições 3D realistas de impurezas/dopantes em materiais de estado sólido.

Tags

Reconstrução de Perfil de Profundidade 3D Impurezas Segregadas Espectrometria de Massa de Íons Secundários SIMS Limites de Detecção Resolução Espacial Distribuições 3D Realísticas Artefatos de Medição Correção de Campo Plano Contribuição de Fundo de Vácuo Tempo Estável Fonte de Íons Primários Condicionamento Químico Úmido Posição de Deslocamento Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV) Impurezas Aglomeradas Posição de Defeitos Estágio de Preparação de Amostra
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