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Chemistry

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Reconstrucción 3D del perfil de profundidad de las impurezas segregadas mediante espectrometría de masas de iones secundarios
Conducting Miller-Urey Experiments
Journal (Chemistry)
Conducting Miller-Urey Experiments
Neutron Crystallography Data Collection and Processing for Modelling Hydrogen Atoms in Protein Structures
Journal (Chemistry)
Neutron Crystallography Data Collection and Processing for Modelling Hydrogen Atoms in Protein Structures
 
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Reconstrucción 3D del perfil de profundidad de las impurezas segregadas mediante espectrometría de masas de iones secundarios

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

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El método presentado describe cómo identificar y resolver artefactos de medición relacionados con la espectrometría de masas de iones secundarios, así como obtener distribuciones 3D realistas de impurezas/dopantes en materiales de estado sólido.

Tags

Reconstrucción de perfil de profundidad 3D Impurezas segregadas Espectrometría de masas de iones secundarios SIMS Límites de detección Resolución espacial Distribuciones 3D realistas Artefactos de medición Corrección de campo plano Contribución de fondo de vacío Intervalo de tiempo estable Fuente de iones primarios Grabado químico húmedo Posición de dislocación Microscopía electrónica de barrido (SEM) Impurezas aglomeradas Posición de defectos Etapa de preparación de muestras
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