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JoVE Journal
Chemistry

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JoVE Journal Chemistry
2차 이온 질량분석법을 사용한 분리된 불순물의 3D 깊이 프로파일 재구성
An ELISA Based Binding and Competition Method to Rapidly Determine Ligand-receptor Interactions
Journal (Chemistry)
An ELISA Based Binding and Competition Method to Rapidly Determine Ligand-receptor Interactions
Using Graphene Liquid Cell Transmission Electron Microscopy to Study in Situ Nanocrystal Etching
Journal (Chemistry)
Using Graphene Liquid Cell Transmission Electron Microscopy to Study in Situ Nanocrystal Etching
 
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2차 이온 질량분석법을 사용한 분리된 불순물의 3D 깊이 프로파일 재구성

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

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제시된 방법은 2차 이온 질량 분석법과 관련된 측정 아티팩트를 식별 및 해결하고 고체 물질에서 불순물/도펀트의 사실적인 3D 분포를 얻는 방법을 설명합니다.

Tags

3D 깊이 프로파일 재구성 분리된 불순물 2차 이온 질량 분석법 SIMS 검출 한계 공간 분해능 사실적인 3D 분포 측정 아티팩트 플랫 필드 보정 진공 배경 기여 안정적인 시간 범위 1차 이온 소스 습식 화학 에칭 전위 위치 주사 전자 현미경(SEM) 응집 불순물 결함 위치 시료 전처리 단계
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