Journal
/
/
3D-djupprofilrekonstruktion av segregerade föroreningar med hjälp av sekundärjonmasspektrometri
JoVE Journal
Chemistry
This content is Free Access.
JoVE Journal Chemistry
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
DOI:

07:10 min

April 29, 2020

, , , ,

Chapters

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Automatic Translation

Den presenterade metoden beskriver hur man identifierar och löser mätartefakter relaterade till sekundärjonmasspektrometri samt erhåller realistiska 3D-fördelningar av föroreningar/dopningsmedel i fasta material.

Related Videos

Read Article