二次イオン質量分析を用いた分離不純物の3D深さプロファイル再構成(英語)

提示された方法では、二次イオン質量分析に関連する測定アーチファクトを特定して解決する方法と、固体材料中の不純物/ドーパントの現実的な3D分布を取得する方法について説明します。