Journal
/
/
3D عمق الشخصي إعادة بناء الشوائب المنفصلة باستخدام مطياف الكتلة الأيونية الثانوية
JoVE Journal
Chemistry
This content is Free Access.
JoVE Journal Chemistry
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
DOI:

07:10 min

April 29, 2020

, , , ,

Chapters

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Automatic Translation

تصف الطريقة المقدمة كيفية تحديد وحل القطع الأثرية للقياس المتعلقة بمطياف الكتلة الأيونية الثانوية وكذلك الحصول على توزيعات 3D واقعية للشوائب / dopants في مواد الحالة الصلبة.

Related Videos

Read Article