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실리콘에 에피 택시 나노 구조α 석영 필름
Generation of Size-controlled Poly (ethylene Glycol) Diacrylate Droplets via Semi-3-Dimensional Flow Focusing Microfluidic Devices
Journal (Engineering)
Generation of Size-controlled Poly (ethylene Glycol) Diacrylate Droplets via Semi-3-Dimensional Flow Focusing Microfluidic Devices
Visible-light Induced Reduction of Graphene Oxide Using Plasmonic Nanoparticle
Journal (Engineering)
Visible-light Induced Reduction of Graphene Oxide Using Plasmonic Nanoparticle
 
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실리콘에 에피 택시 나노 구조α 석영 필름: 재료에서 새로운 장치에

Article DOI: 10.3791/61766-v • 11:34 min • October 6th, 2020
October 6th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Institut d'Electronique et des Systemes (IES), CNRS, Université de Montpellier

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이 작품은 실리콘 온 절연체(SOI) 기술 기판상에서 나노구조α-쿼츠 캔틸레버의 미세제조를 위한 상세한 프로토콜을 제시하며, 딥 코팅 방법으로 석영막의 상피 성장에서 시작하여 나노임프프린트 리소그래피를 통해 박막의 나노스트루크화를 한다.

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공학 문제 164 나노 임프린트 리소그래피 (NIL) 나노 구조 α 석영 SOI 기판 압전 미세 제조 리소그래피 에칭 캔틸레버 MEMS
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