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Fabricação de óxidos complexos espacialmente confinados
 
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Fabricação de óxidos complexos espacialmente confinados

Article DOI: 10.3791/50573 08:45 min
July 1st, 2013

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Summary July 1st, 2013

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Descreve-se a utilização de deposição de laser pulsado (PLD), e as técnicas de fotolitografia fio de ligação para criar dispositivos de óxidos complexos escala micrométrica. A PLD é utilizado para crescer finas películas epitaxiais. Técnicas de fotolitografia e fios de ligação são introduzidos para criar dispositivos práticos para fins de medição.

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