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Spatially सीमित परिसर आक्साइड का निर्माण
 
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Spatially सीमित परिसर आक्साइड का निर्माण

Article doi: 10.3791/50573
July 1st, 2013

Summary July 1st, 2013

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हम स्पंदित लेजर बयान (इलेक्ट्रॉनिक्स), फोटोलिथोग्राफी और सुक्ष्ममापी पैमाने जटिल आक्साइड उपकरणों को बनाने के लिए तार संबंध तकनीक के उपयोग का वर्णन. इलेक्ट्रॉनिक्स epitaxial पतली फिल्मों विकसित करने के लिए उपयोग किया जाता है. Photolithography और तार संबंध तकनीक माप प्रयोजनों के लिए व्यावहारिक उपकरणों को बनाने के लिए पेश कर रहे हैं.

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