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空間的に閉じ込められた複合酸化物の作製
 
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空間的に閉じ込められた複合酸化物の作製

Article DOI: 10.3791/50573
July 1st, 2013

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Summary July 1st, 2013

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我々は、パルスレーザー堆積(PLD)、フォトリソグラフィ及びマイクロメートルスケールの複合酸化物デバイスを作成するためのワイヤボンディング技術の使用を記載している。 PLDは、エピタキシャル薄膜を成長させるために利用される。フォトリソグラフィとワイヤボンディング技術は、測定目的のための実用的なデバイスを作成するために導入される。

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