En Profondeur Analyses de LED par une combinaison de tomodensitométrie à rayons X (CT) et Microscopie Light (LM) Corrélée avec microscopie électronique à balayage (MEB)

Un flux de travail pour les micro-caractérisation complète de dispositifs optiques actifs est décrit. Il contient des enquêtes structurelles ainsi que fonctionnelles au moyen de CT, LM et SEM. La méthode est démontrée pour une LED blanche qui peut être encore être exploités lors de la caractérisation.