JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Teoretisk beräkning och experimentell verifiering föreslås för en minskning av gängningsdislokationstätheten (TD) i germaniumepitaxiella skikt med halvcylindriska hålrum på kisel. Beräkningar baserade på interaktionen mellan TD och yta via bildkraft, TD-mätningar och transmissionselektronmikroskopobservationer av TD presenteras.