Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

Teoretisk beräkning och experimentell verifiering för dislokationsreduktion i germaniumepitaxiella skikt med semicylindriska hålrum på kisel
 
Click here for the English version

Teoretisk beräkning och experimentell verifiering för dislokationsreduktion i germaniumepitaxiella skikt med semicylindriska hålrum på kisel

Article DOI: 10.3791/58897-v 06:57 min July 17th, 2020
July 17th, 2020

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Teoretisk beräkning och experimentell verifiering föreslås för en minskning av gängningsdislokationstätheten (TD) i germaniumepitaxiella skikt med halvcylindriska hålrum på kisel. Beräkningar baserade på interaktionen mellan TD och yta via bildkraft, TD-mätningar och transmissionselektronmikroskopobservationer av TD presenteras.

Tags

Engineering Kiselfotonik germanium Ge kristalltillväxt selektiv epitaxiell tillväxt gängningsdislokationstäthet bildkraft teoretisk beräkning kemisk ångavsättning CVD transmissionselektronmikroskop TEM
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter