Journal
/
Engineering
/
Metallassistert elektrokjemisk nanoimprinting av porøse og solide silisiumskiver
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers

Metallassistert elektrokjemisk nanoimprinting av porøse og solide silisiumskiver

DOI:
10.3791/61040-v

•

09:18 min

•

February 08, 2022

•

, , ,
1The Polytechnic School,Arizona State University

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 01:19Mac-imprint Stamp Preparation
  • 02:43Photoresist Ultraviolet (UV) Nanoimprinting
  • 04:05Gold and Silver/Gold Catalyst Thin Film Deposition
  • 05:17Silver/Gold Catalyst Thin Film Dealloying
  • 06:01Mac-imprint Operation
  • 07:33Results: Representative Au Porous Stamp and Si Mac-imprint Imaging
  • 08:31Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

En protokoll for metallassistert kjemisk avtrykk av 3D-mikroskalafunksjoner med formnøyaktighet under 20 nm til faste og porøse silisiumskiver presenteres.

Tags

Metal-assisted Electrochemical NanoimprintingPorous SiliconSolid SiliconHierarchical MicrostructuresMetasurface-based Microoptic ElementsWaveguide TechnologiesOptical BiosensorsInfrared Optical DevicesIII-V SemiconductorsStamp To Substrate Tip And Tilt AlignmentRCA-1 SolutionPFOCSPDMSUV Nanoimprinting

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

Nanomoulding av funksjonelle materialer, et allsidig Complementary Pattern Replication Metode for å Nanoimprinting

Fabrikasjon av VB<sub> 2</sub> / Air Cells for Elektrokjemisk Testing

Monolayer Contact Doping of Silicon Surfaces and Nanowires Using Organophosphorus Compounds

Fabrikasjon av ensartede nanoskala hulrom via silisium direkte wafer binding

Protokoll fra Elektrokjemisk Test og karakterisering av aprotisk Li-O<sub> 2</sub> Batteri

Utslipps Spektroskopiske Boundary Layer Investigation under ablativ Material Testing i Plasma

Elektrokjemisk Etsing og karakterisering av Sharp Feltet utslippspunkter for Electron Impact ionisering

Fabrikasjon av White Light-Emitting elektrokjemiske celler med Stabil Emission fra Exciplexes

Eksperimentelle metoder for Spin - og vinkel-løst Photoemission spektroskopi kombinert med polarisering variabel Laser

En silisium-tipped fiberoptisk Sensing plattform med høy oppløsning og rask respons

Read Article