Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Электрохимическая наноимпринтовка пористых и…
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.

JoVE Journal Engineering
Электрохимическая наноимпринтовка пористых и твердых кремниевых пластин с помощью металлов
A High Performance Impedance-based Platform for Evaporation Rate Detection
Journal (Engineering)
A High Performance Impedance-based Platform for Evaporation Rate Detection
Gradient Echo Quantum Memory in Warm Atomic Vapor
Journal (Engineering)
Gradient Echo Quantum Memory in Warm Atomic Vapor
 
Click here for the English version

Электрохимическая наноимпринтовка пористых и твердых кремниевых пластин с помощью металлов

Article DOI: 10.3791/61040-v • 09:18 min • February 8th, 2022
February 8th, 2022 •
1, 1, 1, 1
1The Polytechnic School, Arizona State University

Chapters

Summary
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Представлен протокол металлического химического импринтинга 3D микромасштабных объектов с точностью формы менее 20 нм в твердые и пористые кремниевые пластины.

Tags

Машиностроение выпуск 180 наноимпринтинг электрохимическая наноимпринтация MACE металлическое химическое травление кремниевая фотоника микропроизводство микроинженерия
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter